마이크로가공기술 (1) 썸네일형 리스트형 [정밀가공]마이크로 가공 마이크로 가공의 정의와 종류에 대해 설명하겠습니다. 마이크로머신센터 표준화위원회가 제정한 마이크로/나노 가공 또는 미세가공의 정의는 '가공방법 중에서 피가공물의 두께 방향 치수와 가공 면의 횡방향 치수가 모두 미세하고 정밀한 가공'을 의미합니다. 일부에서는 '500㎛ 이하 정밀도를 가진 가공을 마이크로가공' 이라고 하기도 합니다. 최소 가공치수를 가공분해능이라고 하며, 정밀가공 분야에서 일반적으로 종합가공정도를 가공변수로 채택합니다. 종합가공정도는 편향오차(정확도)와 격차오차(정밀도)의 합, 즉 허용공차를 의미합니다. 일반적으로 가공분해능은 정확도 폭 σ를 초과하지 않고, 초정밀 가공한계는 1nm 이하로 정합니다. 이것은 수치제어 EEM(Elastic Emission Machining) 또는 ELID(E.. 이전 1 다음